聚四氟乙烯（Poly tetra fluoroethylene，简写为PTFE），俗称“塑料王”，为以四氟乙烯作为单体聚合制得的聚合物。 白色蜡状、半透明、耐热、耐寒性优良，可在-180～260ºC经常使用。这种材料具备抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点，几乎不溶于所有的溶剂。同时，聚四氟乙烯具有耐高温的特点，它的摩擦系数极低，所以可作润滑作用之余，亦成为了易清洁水管内层的理想涂料。

  铁氟龙以其独特的化学性质和物理特点，在芯片厂的多个环节中起到关键作用，无论是用于制程设备的密封件，还是作为抗腐蚀涂层，它都成为了工程师的理想材料。那么铁氟龙材料的性质怎样？在芯片厂中具体应用在哪些地方？

  铁氟龙（Teflon）是聚四氟乙烯（PTFE）的商标名，俗称“塑胶王”。而聚四氟乙烯是四氟乙烯的合成含氟聚合物。 在PTFE中，每个碳原子都与两个氟原子共价键结合，并与相邻的碳原子共享另外两个共价键。这种结构形成一个线性聚合物，其中每个碳原子上的所有自由键都被氟占据，铁氟龙分子中的碳-氟（C-F）键是很稳定的，这种结构赋予了PTFE许多独特的物理性质。

  铁氟龙的工作时候的温度范围通常在-200°C至+260°C之间，这一范围十分普遍，涵盖了极低至极高的温度。铁氟龙在极低温度下也能保持其物理和化学性质，在高温下保持化学稳定，不易分解，也不会释放有毒气体。

  铁氟龙的介电常数较低，常温下约为2.1，且在其整个工作时候的温度范围内相对来说比较稳定。这在某种程度上预示着它对电场的响应较弱，因此具有很好的绝缘性能。

  在半导体生产的全部过程中，常常使用许多腐蚀性化学品。铁氟龙由于其化学惰性，可承受这些化学品，从而大范围的使用在生产线的管道、阀门、接头等。

  在气相化学沉积（CVD）和刻蚀过程中，需要精确控制和输送各种气体。铁氟龙可用于气体输送系统的组件，确保气体的纯净和准确的输送。

  由于铁氟龙对许多化学物质拥有非常良好的化学稳定性，它能够适用于液体冷却系统中，用于输送冷却剂，而不用担心与系统中的其他化学物质发生反应。

  铁氟龙的柔韧性和化学稳定性使其成为密封和垫片的理想材料。在需要密封腐蚀性化学物质或在极端温度下工作的应用中，这一特性尤为重要。

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  聚四氟乙烯（Polytetrafluoroethene），英文缩写为PTFE，俗称“塑料王”，商标名Teflon®。音译为铁氟龙、特氟龙。

  悬浮法聚四氟乙烯为白色、无臭、无味、无毒的粉状物，相对密度2. 1～2.3，玻璃化温度327℃，热分解温度415℃，耐高低温性能优异，可在-250～260℃下经常使用。在400℃以上易分解放出有毒的气体。电性能优异，而且不受工作环境、湿度、温度和频率的影响，耐电弧性能好，但耐电晕性欠佳。润滑性能好，具有很低的动静摩擦系数，对金属的摩擦系数低至0. 07，自身的摩擦系数低至0. Ol。表面不粘性更为突出，几乎所有的黏性物质均不能黏附其表面。对水及许多有机溶液的浸润性能都很差。具有极好的耐大气老化性和不燃性。长期暴露于大气中，性能仍保持不变。在正常条件下，聚四氟乙烯是完全不燃的。化学稳定性能优良。除元素氟和熔融状态的金属钠对其制品有一定腐蚀作用外，几乎所有强酸、强碱、强氧化剂和有机溶剂对它都不起作用，素有“塑料王”之称。聚四氟乙烯加入不同填料，如石墨、铜粉、二硫化钼、玻璃纤维、碳纤维、聚苯酯等，得到的填充制品较纯聚四氟乙烯性能大有提高。在各种应用领域中使用聚四氟填充料极为普遍，能广泛地使用户得到满足的特别的条件。不同配方的填充制品性能不同，有些耐负荷变形可提高5倍，热导率可提高5倍，硬度提高10%，压缩强度增加2～3倍，耐磨耗性明显提高，线%。

  悬浮法聚四氟乙烯（国内标准命名为通用型模压聚四氟乙烯树脂）具有广泛的应用场景范围。在化学工业上适于用作化工设备衬里；管材、管件和阀门衬里；泵、热交换器、分馏塔、波纹管、密封垫片和密封填料等。在机械工业上可用作机械密封件、活塞环、转动轴承等。用其制作的机械动密封环或静密封环，可与陶瓷环、高硅铁环或硬质合金环等组成机械密封摩擦件。还能用作辅助密封件，如O形环和V形环等。加入玻璃纤维、石墨、青铜粉或二硫化钼制得的填充聚四氟乙烯制品，润滑性和耐磨性都很好，且克服了蠕变较大的缺点。在电子电气工业上可用作导线、电缆绝缘、高频电缆、可挠电缆、电机沟槽、高精度电容器、电子管插座、各种零部件和接插件、电子计算机信号线绝缘、印刷线路板等。在建筑工业上用作桥梁、隧道、钢结构屋架、大型管道、贮槽，乃至高速公路和位移支承滑块等。在纺织工业上用作抗粘辊筒、往复运动部件、浸渍聚四氟乙烯的传输带。在食品制造业上用作脱模剂等。

  1.高度的化学稳定性PTFE能承受除熔融碱金属、氟元素和强氟化介质以及高于300℃的氢氧化钠以外的所有强酸、强碱、强氧化剂、还原剂等的作用。它的耐非物理性腐蚀性能超过贵金属、玻璃、陶瓷、搪瓷和合金等, 即使原子能工业中的强腐蚀剂上氟化铀对它也不腐蚀。2.广泛的使用温度范围PTFE可在-250～260℃的宽广区域内使用,即使在-260℃的超低温下仍还以可保持一定的挠曲性;在260℃时其断裂强度仍保持5MPa左右(约为室温的1/5),抗屈强度达1.4MPa。3.突出的不粘性PTFE是目前表面能最小的一种固体材料,表面张力仅0.019N/m,几乎所有的固体材料都不能粘附在其表面, 只有表面张力在0.02N/m以下的液体才能完全浸润其表面。4.异常的润滑性由于PTFE大分子间的相互引力小,且表面对其他分子的吸引力也很小, 因此其摩擦系数非常小, 是目前发现的摩擦系数最低的自润滑材料。5.优异的电绝缘性能PTFE为高度非极性材料,具有极优良的介电性；耐电弧性极好, 在高压放电时,仅仅放出一些裂解的不导电气体而不会碳化引起短路。6.优异的耐老化性能和抗辐射性能PTFE分子中没有光敏基团, 所以不仅在低温与高温下尺寸稳定,在苛刻环境下性能也不变,潮湿状态下不受微生物侵袭,而且对各种射线辐射具有极高的防护能力。7.极小的吸水率PTFE的吸水率一般在0.001％～0.005％左右,而且它的渗透率也较低。